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薄膜熱電參數(shù)測試系統(tǒng)(MRS)
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測試薄膜材料的塞貝克系數(shù)和電導(dǎo)率。
測試范圍:塞貝克系數(shù):S ≥ 8μV/K; 電阻率:0.1μΩ?m~ 106μΩ?m。
相對誤差精度:賽貝克系數(shù)≤±5%,電阻率≤±5%;
溫控方式/溫度范圍:81K-700K;
1.樣品滿足上述樣品尺寸,待測面需平整,薄膜均勻性好,保證與銅片接觸良好;
2.薄膜材料厚度最低可至 50nm,其均勻性有較高要求,薄膜厚度達到微米級別較好,長 x 寬:10*10mm;
3.薄膜材料的襯底需選擇電阻率較大或絕緣材料為宜,如玻璃、Si 等材料
薄膜熱電參數(shù)測試系統(tǒng)(MRS)