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電子通道襯度成像（ECCI）

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電子通道襯度成像（ECCI）

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項目介紹

ECCI，全寫為electron channeling contrast imaging，即電子通道襯度成像。

ECCI可以進行下列測試表征：

（1）原位試驗（暫無測試）: 單軸、多軸、循環變形等試驗，ECCI擁有原位表征能力，可以分析同一區域在不同變形階段的位錯表現；

（2）位錯統計：ECCI表征面積較大，可以對一定范圍內的位錯進行定量或者半定量分析；

（3）特定位置位錯分析：ECCI不需要減薄，即可以對裂尖、特定取向晶粒、應力集中位置等特殊位置的位錯進行表征；

（4）環境試驗：ECCI可以對腐蝕環境下的變形和失效樣品位錯進行表征。

樣品要求

1. 樣品應為晶體材料，表面具有良好的晶體結構；

2. 樣品尺寸小于1  x 1  x 0.5cm；EBSD測試后的樣品可直接測試；

3. 需要對樣品進行拋光處理，獲得平整的表面；

4. 給出拍攝倍數要求和圖片張數要求；目前最多10張圖。

項目案例

Dislocation cells

Dislocation cells with one activated twin system

Dislocation cells with two activated twin systems

常見問題
1、電子通道襯度成像（ECCI）技術的優勢？

（1）樣品制備簡單和非破壞性：相比于透射電鏡技術復雜的樣品制樣過程，用于ECCI表征的樣品制備過程非常簡單，只需將塊狀樣品的表面拋光至鏡面即可；對于特定取向的晶粒、應力集中區、失效開裂區的缺陷分析，ECCI 技術也只要通過常規的樣品制備就可實現觀察，無需FIB技術定點制備薄片樣品；由于制樣過程無需破壞樣品，在ECCI表征后樣品還可進行后續實驗；

（2）高通量分析：結合掃描電鏡的大視野和大像素成像技術特點，ECCI技術可實現大面積高通量的晶體缺陷采集，為實現晶體缺陷的統計分析提供可能；

（3）更高的分析靈敏度和分辨率，更高效率：ECCI技術利用掃描電鏡高分辨成像，其數據采集效率高，圖像分辨率高，對材料的形變靈敏，即使材料內部有較小的形變，也將在ECCI圖像中看出端倪。

電子通道襯度成像（ECCI）

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