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自由曲面光學(xué)面形測(cè)試儀（NMF600S）

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自由曲面光學(xué)面形測(cè)試儀（NMF600S）

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項(xiàng)目介紹

自由曲面光學(xué)面形測(cè)試儀，尤其適用非對(duì)稱回轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的自由曲面測(cè)量，如元件表面面形誤差分布圖，輸出PV、RMS及曲率半徑誤差等參數(shù)，測(cè)量精度達(dá)到15 nm。

樣品要求

1、樣品尺寸（非球面產(chǎn)品）：φ600mm以內(nèi)，厚度150mm以內(nèi)，精度15nm.

2、檢測(cè)狀態(tài)：RMS=**mm,PV=**mm（pdf格式),自動(dòng)定位功能可對(duì)非球面、自由曲面、平面、凹面和凸面等各種形狀進(jìn)行短時(shí)間、高精度測(cè)量。

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自由曲面光學(xué)面形測(cè)試儀（NMF600S）

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