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項目介紹

XPS可定性定量分析固體材料表面成分信息（包括元素組成、化學態等），通過聚焦X射線還可以進行微區選區和定位分析從而表征成分的分布情況（最小采譜區域可小于10 μm），所以XPS可被廣泛應用于分析合金、礦物、半導體、高分子聚合物、催化劑、硅酸鹽陶瓷、生物醫藥、能源材料等。

微區XPS可以應對從大面積到微區的分析需求，既可以表征表面成分、表面多層薄膜等，又可以對環境顆粒物、表面缺陷（腐蝕、異物、污染、分布不均等）進行微區定位分析，因此對于各種材料開發，材料剖析與失效機理的分析和研究具有不可替代的作用。

樣品要求

1. 預處理尺寸要求：塊體/片狀/薄膜：長寬厚不超出1 × 1 × 0.3 cm（磁性樣品盡量小）（對塊狀樣品或薄膜樣品的測試面做好標記）；粉末樣品大于200目，不少于10mg，量少的請用稱量紙包好再裝到管子里寄。請勿用手觸摸樣品表面，會引入污染；制好樣后請盡快密封，避免其他物質污染；

2. 送樣前樣品需充分干燥，否則影響儀器真空度；高分子樣品在送樣前應進行干燥處理；若含有高揮發性分子等，請務必烘烤；

3. 樣品含有硫或碘等鹵族元素請務必填寫或者提前告知，避免污染高真空系統；

4. 樣品在超高真空及在X射線、紫外線、電子束或Ar離子束照射下應穩定，不分解、不釋放氣體。

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常見問題
1、

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