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材料表面分析的利器：X射線光電子能譜（XPS）

來源：時間：2023-05-10 16:22:14 瀏覽：2897次

材料表面分析的利器：X射線光電子能譜（XPS）

X射線光電子能譜（X-ray photoelectron spectroscopy，簡稱XPS）是一種常用的表面分析技術，可以測定材料表面的化學組成、價態、分子結構等信息。在材料科學、表面科學、化學、物理等領域廣泛應用。

X射線光電子能譜

X射線光電子能譜（XPS）基本原理

XPS利用X射線照射樣品表面，使樣品表面原子產生光電子，測量光電子的能量和數量，從而得到材料表面化學組成和價態信息。X射線入射樣品表面后，與樣品原子發生相互作用，其中一部分能量被轉化成電子束，使得樣品原子或分子中的某些電子被激發，脫離原子或分子表面，形成光電子。這些光電子的能量與原子或分子中的電子狀態相關，因此測量光電子能譜可以得到樣品的化學信息。

X射線光電子能譜（XPS）測量過程

XPS的測量過程主要包括樣品制備、數據采集、光電子能譜分析等步驟。

（1）樣品制備

樣品制備是XPS測量的關鍵步驟之一，需要注意幾個方面：首先，樣品表面必須干凈、光滑，沒有氧化物、油脂、污漬等雜質，否則會影響測量結果；其次，樣品厚度應足夠薄，通常在10-20 nm之間，以保證光電子只來自于表面，不受深度效應影響；最后，樣品應固定在樣品臺上，以避免樣品在測量過程中移動或轉動。

（2）數據采集

在XPS測量中，通過改變入射光束的能量和位置，可以得到不同能量的光電子能譜圖。光電子能譜圖中，x軸表示光電子的能量，y軸表示光電子的強度。根據光電子能譜圖中的光電子能量和強度分布，可以分析樣品表面的化學成分、價態和分子結構等信息。

（3）光電子能譜分析

XPS測量得到的光電子能譜圖，需要進行光電子能量的校準和光電子峰的擬合，以確定光電子的化學成分和價態信息。常用的光電子能譜分析軟件有CasaXPS、Kratos、ESCALAB和MultiPak等。

X射線光電子能譜（XPS）應用范圍

XPS可以廣泛應用于材料科學、表面科學、化學、物理等領域。具體應用如下：

（1）表面化學成分分析

XPS可以測定樣品表面的元素種類、化學狀態、含量等信息，對于表面改性、表面功能化等研究具有重要意義。