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3D光學輪廓儀測試的樣品要求以及常見問題
來源:測試GO 時間:2022-11-07 13:34:10 瀏覽:3450次

3D表面輪廓儀以白光干涉技術為原理,可以用來表征表面形貌,微觀結構測量。廣泛應用于光學,半導體,材料,精密機械等等領域。

光學3D表面輪廓儀主要可以測量樣品表面的粗糙度和三維形貌材料表面的起伏,平整度凹坑的深度和面積影像三坐標可以測試樣品的空間位置平行度、垂直度以及對角線距離等



白光三維光學顯微鏡/3D光學輪廓儀


先進的光學3D表面輪廓儀是確定MEMS設備表面特征的一種非常有用的工具。傳統意義上,光學輪廓儀被用來測量樣品的表面特性。但是,在測量過程中,所測量的樣品需保持在靜止的狀態下,如果樣品不穩定或者處于運動狀態則會引起圖像混亂模糊、數據不完整或者數據丟失等現象。然而,對于MEMS設備,需要確定該設備處于運動狀態時的形貌特征,了解和確定其在運動狀態下的功能和特征對研發和生產質量控制至關重要,作為質量檢驗,只有動態測量才可以真正模擬MEMS實際運行狀態,從而達到真正的功能檢測所以需要先進峰光學3D表面輪廓儀。


 

3D光學輪廓儀測試樣品要求

1. 樣品需平整;

2.樣品尺寸不超過50*50mm就可以

【注:3D光學輪廓儀最大掃描區域是600*400um,每次拼接會有30%區域重疊。

 

3D光學輪廓儀測試常見問題

Q1、白光三維光學顯微鏡/3D光學輪廓儀/接觸式輪廓儀,是一樣的嗎?

不一樣。前兩個屬于同儀器,是無接觸式的光學照射測量,而接觸式輪廓儀也叫臺階儀,屬于探針接觸式的測量,都是用于材料表面形貌測試。

Q2、 測試樣品表面粗糙度可以給出哪些參數?

Ra(輪廓算術平均偏差);Rq(均方根粗糙度);Rz(微觀不平度十點高度);Rp(最大輪廓波峰高度);Rv(最大谷值)。


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全部 3小時前 四川
文字是人類用符號記錄表達信息以傳之久遠的方式和工具。現代文字大多是記錄語言的工具。人類往往先有口頭的語言后產生書面文字,很多小語種,有語言但沒有文字。文字的不同體現了國家和民族的書面表達的方式和思維不同。文字使人類進入有歷史記錄的文明社會。
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