国产主播欧美精品,在线视频cao,中文字幕免费一区二区,日韩三级影视

預存
Document
當前位置:文庫百科 ? 文章詳情
每天學一點:FIB聚焦離子束
來源:本站 時間:2022-09-23 20:56:16 瀏覽:14971次


FIB基礎知識



FIB即聚焦離子束,具有兩大功能,一是將液態金屬離子源產生的離子束經加速、聚焦后用于轟擊樣品表面,使之產生二次電子信號以獲得樣品表面的電子像(類似于SEM);二是利用強電流離子束對表面原子進行剝離,以完成微、納級別表面形貌加工。若在物理濺射的方式上搭配化學氣體反應系統,則可實現有選擇性的剝離金屬,氧化硅層或沉積金屬層。


FIB的原理示意圖及雙束系統FIB的工作示意圖


樣品和電子束、離子束的幾何學關系示意圖



了解更多活動詳情請聯系GO小妹(15680750806)

活動時間:2022年10月19日——2022年10月28日


FIB的三大工作模式分別為:a成像、b切割、c沉積/增強刻蝕,見下圖。




了解更多活動詳情請聯系GO小妹(15680750806)

活動時間:2022年10月19日——2022年10月28日



FIB的應用



在雙束系統中,可以在離子束加工的同時,利用電子束實時監控加工的全過程。利用電子束成像分辨率高的特點(可達0.7nm),原位觀察樣品截面和表面信息;利用電子束激發的特征X射線,對樣品的截面和表面進行化學成分分析。利用電子束產生的背散射電子直接進行晶體取向分析。


(1)形貌和成分分析FIB可以對納米顆粒材料表面進行形貌觀察,還可以精準的切出橫截面,結合能譜即可對顆粒截面成分進行分析。


通過FIB實現對微球材料的表面、截面形貌和EDS線掃分析


(2)制備TEM、3DAP、EBSD樣品FIB因其樣品制備精度高、速度快已經成為特殊樣品制備、精細結構加工的重要方法。其中制備TEM截面樣品就是其中重要用途。FIB制備的TEM樣品厚度在100nm以下,且成功率很高,所以經常用來制備薄膜、陶瓷等塊體的TEM樣品。此外,電子束無法穿透的微米級顆粒,也可用FIB制備一個薄截面樣品再進行TEM測試。


制備TEM樣品步驟:a定位需加工區域;b取出切斷樣品;c移動并傳輸到TEM專用銅網上;d最終減薄

制備好TEM薄片樣品可以固定在專用銅網做紅色標記的位置。

專用銅網示意圖


FIB制備原子探針樣品


(3)微納圖形制備采用電子束在光刻膠上曝光(EBL),然后刻蝕獲得所需圖形,或用用聚焦離子束直接刻出或在與氣體注入系統(GIS)結合后沉積出所需圖形,或用戶利用專業軟件設計好圖形,在雙束粒可直接識別這些圖形并自動加工完成。


FIB加工的測試狗LOGO


利用離子束沉積的鉑金(Pt)彈簧


FIB-Pt沉積出的探針GaN NW 設備的SEM圖像及I-Beam 圖像


FIB刻蝕不同間距Poly-Si上面的納米光柵結構


(4)三維表征技術(FIB-HIM)在掃描電鏡中可以獲得觀察區域的表面形貌、化學成分、晶體取向等信息。三維重構(3D)允許從各個角度觀察樣品,尤其當樣品中有一些網絡結構,不同的相交織在一起,利用FIB三維成像可將它們內部的網絡結構清晰的表征出來,甚至重構樣品里小缺陷(<100nm)的三維形狀和尺寸。 

超導材料三維EDS分析和多孔陶瓷材料BaTiO3碎石紋理的表面可視分析


FIB-HIM方法獲得的BaTiO3樣品的孔徑分布(與壓汞法數據基本吻合)


(5)連用加工、沉積、刻蝕等功能實現集成線路修改或微納實驗板制作


a 指定區域刻蝕將Cu暴露出來;b 將暴露出的Cu切斷;c 沉積Si氧化物實現電氣絕緣


將FIB打的孔、FIB-Pt沉積的點和線用于GaN生長的研究



評論 / 文明上網理性發言
12條評論
全部評論 / 我的評論
最熱 /  最新
全部 3小時前 四川
文字是人類用符號記錄表達信息以傳之久遠的方式和工具。現代文字大多是記錄語言的工具。人類往往先有口頭的語言后產生書面文字,很多小語種,有語言但沒有文字。文字的不同體現了國家和民族的書面表達的方式和思維不同。文字使人類進入有歷史記錄的文明社會。
點贊12
回復
全部
查看更多評論
相關文章

基礎理論丨一文了解XPS(概念、定性定量分析、分析方法、譜線結構)

2020-05-03

手把手教你用ChemDraw 畫化學結構式:基礎篇

2021-06-19

晶體結構可視化軟件 VESTA使用教程(下篇)

2021-01-22

【科研干貨】電化學表征:循環伏安法詳解(上)

2019-10-25

【科研干貨】電化學表征:循環伏安法詳解(下)

2019-10-25

Zeta電位的基本理論、測試方法和應用

2020-08-24

項目推薦/Project
三維原子探針(APT)

三維原子探針(APT)

聚焦離子束(FIB)

聚焦離子束(FIB)

熱門文章/popular

基礎理論丨一文了解XPS(概念、定性定量分析、分析方法、譜線結構)

手把手教你用ChemDraw 畫化學結構式:基礎篇

晶體結構可視化軟件 VESTA使用教程(下篇)

【科研干貨】電化學表征:循環伏安法詳解(上)

電化學實驗基礎之電化學工作站篇 (二)三電極和兩電極體系的搭建 和測試

【科研干貨】電化學表征:循環伏安法詳解(下)

微信掃碼分享文章
主站蜘蛛池模板: 乌兰县| 苍山县| 普定县| 栖霞市| 皋兰县| 横山县| 奉化市| 桐城市| 崇阳县| 翁源县| 福建省| 辽源市| 和田县| 邛崃市| 仪征市| 阳曲县| 柳州市| 左云县| 文成县| 德江县| 榆林市| 武威市| 东辽县| 公安县| 普兰县| 苍南县| 湘潭县| 海晏县| 敦化市| 嘉祥县| 兴业县| 荥经县| 霍城县| 宜君县| 昌宁县| 南漳县| 讷河市| 镇远县| 崇阳县| 土默特左旗| 温州市|